硫酰氟又叫熏滅凈，是一種氣態熏蒸劑。擴散滲透能力比溴甲烷高5～9倍，對植物毒性低，不影響種子發芽。由于其在含高蛋白和酯類物質中殘留較高。尚未允許用于糧食和食品的熏蒸，僅可用于種子和空倉熏蒸，可防治谷象、米象、豆象、谷盜類、麥蛾、各種皮蠹等多種貯糧害蟲。
硫酰氟產品為98%或原藥，裝在鋼瓶中，5千克、10千克裝。密閉熏蒸時，開啟閥門，瓶中藥劑借助自身生產的壓力而噴出，因其氣體比空氣重2.88倍，應用膠管將氣態的藥劑引到倉庫頂部或種子上方釋放。用藥量根據物體吸附能力、害蟲種類、蟲態及氣溫而定，一般是成蟲每立方米用藥0.6～3.5克，幼蟲用藥30～50克，卵用藥50～70克，熏蒸16～24小時。在倉庫或帳篷內熏蒸棉花用藥量為每立方米40～50克，作物種子為25～30克。
防治煙草甲蟲，用油布覆蓋煙葉垛，再用牛皮紙將油布和地面糊好密封，上部留有進氣口，每立方米用藥30克，熏蒸48小時，效果可達。